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J-GLOBAL ID：200902009800658798   Reference number：81A0090965

LSI材料中の微量ウラン,トリウムの分析

Author (5)： HONMA NAKAHACHIRO (電電公社武蔵野電通研) ,  KUROSAWA SATORU (電電公社武蔵野電通研) ,  KAWASHIMA IZUMI (電電公社武蔵野電通研) ,  YAMAWAKI MASATAKA (電電公社武蔵野電通研) ,  TANAKA HISATAKE (電電公社武蔵野電通研)
Material： 電子通信学会論文誌 C  (Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan. C)
Volume： 63  Issue： 10  Page： 653-659  Publication year： Oct. 1980 
JST Material Number： S0623A  ISSN： 0373-6113  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： LSI ,...

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  General  (NC03161C)

Terms in the title (4)： LSI ,  ウラン ,  トリウム ,  分析