Art

J-GLOBAL ID：200902010884282311   Reference number：82A0242201

Laser-enhanced plating and etching: Mechanisms and applications.

レーザ光を用いた電気メッキおよびエッチング その機構と応用

Author (3)： Von GUTFELD R J (IBM, NY) ,  ACOSTA R E (IBM, NY) ,  ROMANKIW L T (IBM, NY)
Material： IBM Journal of Research and Development  (IBM J Res Dev)
Volume： 26  Issue： 2  Page： 136-144  Publication year： Mar. 1982 
JST Material Number： D0061B  ISSN： 0018-8646  CODEN： IBMJAE  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： etching ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： レーザ光 ,  電気メッキ ,  エッチング ,  応用