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J-GLOBAL ID：200902014993281983
Reference number：87A0332137
Measurement of fine surface roughness in ultra-precision diamond tool machining based on Fraunhofer diffraction.
Franhofer回折による超精密ダイヤモンド旋削面の粗さ測定
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Author (3)：
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Material：
Volume：
53
Issue：
5
Page：
736-742
Publication year：
May. 1987
JST Material Number：
F0268A
ISSN：
0912-0289
Document type：
Article
Article type：
原著論文
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
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JST classification (2)：
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Turning,boring
, Other optical instruments and techniques
Reference (6)：
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1) 伊東 誼ほか : 超精密技術, 日本機械学会誌, 87,791 (1984) 1087.
-
2) 河野嗣男ほか : 超精密金属鏡の開発-非接触・光学式微小変位計ヘッド, 昭和58年度精機学会秋季大会学術講演会講演論文集 (1983) 391.
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3) 三井公之ほか : 高感度インプロセス粗さ計の開発, 昭和59年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集 (1984) 393,
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4) 安達正明ほか : シャーリング干渉顕微鏡を用いた精密加工面の粗さと自己相関関数, 昭和60年度精機学会秋季大会学術講演会講演論文集 (1985) 59.
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5) J. W. Goodman : Introduction to Fourier Optics, McGraw-Hill, New York, N. Y., (1968) 57.
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