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J-GLOBAL ID：200902016824185102   Reference number：81A0011356

LSI構成材料中U,Thの分析-高濃縮分離法を併用した二次イオン質量分析-

Author (5)： MONMA NAKAHACHIRO (電電公社武蔵野電通研) ,  KUROSAWA SATORU (電電公社武蔵野電通研) ,  KAWASHIMA IZUMI (電電公社電通研工務部) ,  YAMAWAKI MASATAKA (電電公社電通研工務部) ,  TANAKA HISATAKE (電電公社電通研工務部)
Material： 電気通信研究所研究実用化報告  (研究実用化報告)
Volume： 29  Issue： 9  Page： 1557-1567  Publication year： Sep. 22, 1980 
JST Material Number： F0137A  ISSN： 0415-3200  CODEN： DTKKA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： LSI ,...

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JST classification (1)： General  (NC03161C)

Terms in the title (6)： LSI ,  Th ,  分析 ,  濃縮分離 ,  併用 ,  二次イオン質量分析