Art

J-GLOBAL ID：200902020320135306   Reference number：90A0193547

Laterally driven polysilicon resonant microstructures.

平行駆動ポリシリコン共振形微細構造

Author (3)： TANG W C (Univ. California, CA, USA) ,  NGUYEN T-C H (Univ. California, CA, USA) ,  HOWE R T (Univ. California, CA, USA)
Material： Sensors and Actuators (Lausanne)  (Sens Actuators (Lausanne))
Volume： 20  Issue： 1/2  Page： 25-32  Publication year： Nov. 15, 1989 
JST Material Number： B0345B  ISSN： 0250-6874  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： polycrystal ,...

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JST classification (1)： Excitation,generation and measurements of vibrations  (BB02030Z)

Terms in the title (3)： ポリシリコン ,  共振 ,  微細構造