Art

J-GLOBAL ID：200902025207943511   Reference number：84A0107234

Electrochemical tunnel etching of aluminum.

アルミニウムの電気化学的トンネルエッチング

Author (4)： ALWITT R S (United Chemi-Con Inc., Illinois) ,  UCHI H (United Chemi-Con Inc., Illinois) ,  BECK T R (Electrochemical Technology Corp., Washington) ,  ALKIRE R C (Univ. Illinois)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 131  Issue： 1  Page： 13-17  Publication year： Jan. 1984 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electrolytic condenser ,...

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JST classification (1)： LCR parts  (NA05030D)

Terms in the title (4)： アルミニウム ,  電気化学 ,  トンネル ,  エッチング