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J-GLOBAL ID：200902025825277204   Reference number：92A0634658

Machining Oxide Thin Films with an Atomic Force Microscope: Pattern and Object Formation on the Nanometer Scale.

原子間力顕微鏡による酸化物薄膜の加工ナノメータスケールでのパターンおよび構造形成

Author (2)： KIM Y (Harvard Univ., MA) ,  LIEBER C M (Harvard Univ., MA)
Material： Science
Volume： 257  Issue： 5068  Page： 375-377  Publication year： Jul. 17, 1992 
JST Material Number： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： molybdenum oxide ,...

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JST classification (2)： Techniques for samples  (BA02070O) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (5)： 原子間力顕微鏡 ,  酸化物薄膜 ,  ナノメータ ,  スケール ,  構造形成