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J-GLOBAL ID：200902027360763215   Reference number：92A0489088

Special Issue on Measurement and Control Technology using Micro Structures. Micro Flow Sensor.

ミニ特集 マイクロ構造を応用した計測制御技術 流量センサ

Author (1)： NAGATA MITSUHIKO (山武ハネウエル)
Material： 計測と制御  (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
Volume： 31  Issue： 6  Page： 692-694  Publication year： Jun. 1992 
JST Material Number： F0131A  ISSN： 0453-4662  CODEN： KESEA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： flow meter ,...
Semi thesaurus term： マイクロフローセンサ

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JST classification (2)： Other solid-state devices  (NC03150A) ,  Experimental,test,measuring techniques and their apparatuses of fluids  (BC01020K)

Reference (4)：

• 1) R. Johnson et al.: Sensor and Actuators, 11, 63/82 (1987)
• 2) 弊社 Savemation Review 5, 2 (1987)
• 3) T. R. Ohnstein et al.: Proceedings of 1990 IEEE Solid State Sensor and Actuator Workshop, 158/160 (1990)
• 4) 川田, ほか: 流量計測ハンドブック, 日刊工業新聞社 (1979)

Terms in the title (4)： マイクロ構造 ,  応用 ,  計測制御 ,  流量センサ