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J-GLOBAL ID：200902029686416496   Reference number：92A0659293

Study of Active Isolation System with Feedforward Control.

フィードフォワード制御を併用したアクティブ除振装置の研究

Author (3)： YASUDA MASASHI (特許機器) ,  OSAKA TAKAHIDE (特許機器) ,  IKEDA MASAO (神戸大 工)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 58  Issue： 552  Page： 2381-2387  Publication year： Aug. 1992 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： vibration isolator ,...

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JST classification (2)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G) ,  Buffers,springs  (QB01110U)

Reference (4)：

• (1) Ohmi, T. and Yasuda, M., Evaluating passive and Active Microvibration Control Technologies, Microcontamination. 7-9 (1989). 23.
• 2) 安田,精密機器除振装置,日本ゴム協会誌,64-2(1991),128.
• (3) 藤田•福久•村井•高橋•片山.リニヤモータを用いたアクティブ微振動制御装置の研究,機論,56-523,C(1990),628.
• (4) 小林•平井•熊谷,露光装置用アクティブ振動キャンセラーの開発,67期機械力学講演会論文集,(1989-10),195.

Terms in the title (4)： フィードフォワード制御 ,  併用 ,  除振装置 ,  研究