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J-GLOBAL ID：200902034311138832 Reference number：91A0124723
粒子線を利用したマイクロ加工
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Author (1)：
SUZUKI YASUYUKI
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Material：
日本機械学会誌 (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers)
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Volume：
93
Issue：
865
Page：
995
Publication year：
Dec. 1990
JST Material Number：
F0228A
ISSN：
0021-4728
CODEN：
NKGKA
Document type：
Article
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
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