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J-GLOBAL ID：200902039737658010   Reference number：85A0379631

The performance and feature of ionmicroprobe A-DIDA-3000.

A-DIDA 3000の性能と特徴

Author (4)： IWASAKI KOJI (セイコー電子工業) ,  NAITO HIROYUKI (セイコー電子工業) ,  YASUTAKE MASATOSHI (セイコー電子工業) ,  ADACHI TATSUYA (セイコー電子工業)
Material： シンポジウム イオン源とイオンを基礎とした応用技術  (ISIAT)
Volume： 8th  Page： 503-510  Publication year： 1984 
JST Material Number： Z0828A  Document type： Proceedings
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： secondary ion emission ,...

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JST classification (3)： Mass spectrometers  (BD02060M) ,  Mass spectrometry  (CC03013N) ,  Ion emission  (BM09070V)