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J-GLOBAL ID：200902039852589600   Reference number：92A0366131

Metal vapor vacuum arc ion sources(invited).

Author (1)： BROWN I G (Univ. California, California)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 63  Issue： 4 Pt 2  Page： 2351-2356  Publication year： Apr. 1992 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： ARC