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J-GLOBAL ID：200902040902533056   Reference number：89A0005597

Displaccement measurement using grating imaging under incoherent illumination.

インコヒーレント照明におけるグレーティングイメージングを用いた精密変位測定

Author (3)： HANE KAZUHIRO (名古屋大 工) ,  ITO TAKASHI (名古屋大 大学院) ,  HATTORI SHUZO (名古屋大 工)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 54  Issue： 506  Page： 2487-2490  Publication year： Oct. 1988 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： incoherent light ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (9)：

• (1) Uchida, Y., Hattori, S. and Nomura, T., J. Vac. Sci. Technol., B, 5-1(1987),224.
• (2) Patorski, K., Opt. Acta, 30-6(1983),745.
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• (4) Swanson, G. J., and Leith, E. N., J. Opt. Soc. Am., A, 2-6(1985),789.
• (5) Pettigrew, R. M., Proc. soc. Photo-Opt. Instrum.Eng., 136(1977),325.

Terms in the title (3)： 照明 ,  精密 ,  変位測定