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J-GLOBAL ID：200902041172059023   Reference number：89A0598083

La modified PbTiO₃ thin films for infrared detector.

赤外線センサ用PbTiO₃系薄膜の作製

Author (1)： IIJIMA KENJI (松下電器産業 中研)
Material： 鉱物学雑誌  (Journal of the Mineralogical Society of Japan)
Volume： 19  Issue： 2  Page： 55-65  Publication year： Jul. 1989 
JST Material Number： G0124A  ISSN： 0454-1146  CODEN： KOBZAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： RF sputtering ,...
Semi thesaurus term： perovskite structure

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JST classification (3)： Infrared photometry and photodetectors  (BD07032W) ,  Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (10)：

• 1) G. Shirance, R. Pepinsky and B. C. Frazer : Acta Crystallogra., 9, 131 (1956)
• 2) V. G. Gavrilyachenko, R. I. Spinko, M. A. Martynenko and E. G. Fesenko : Soy. Phys. Solid state, 12, 1203 (1970)
• 3) K. Iijima, S. Kawashima and I. Ueda : Proc. 3 rd Sensor Symp., 133 (1983)
• 4) 石垣武夫,中村邦雄,山香英三:National Technical Report, 24, 453(1978)5) S. Nakano, Y. Kishi, T. Yokoo, K. Shibata and Y. Kuwano : Jpn. J. Appl. Phys., 20-4, 155 (1981)
• 6) 麻蒔立男:薄膜作成の基礎,日刊工業新聞社(1979)

Terms in the title (3)： 赤外線センサ ,  薄膜 ,  作製