Art

J-GLOBAL ID：200902042026031156   Reference number：90A0552351

Structural difference of surface and sub-surface native oxides of evaporated amorphous silicon.

蒸着アモルファスシリコンの表面および表面下にある在来酸化物の構造的相違

Author (3)： TADA M (Osaka Prefectural Coll. Technology, Osaka, JPN) ,  OHSAKI H (Univ. Sao Paulo, SP, BRA) ,  AEGERTER M A (Univ. Sao Paulo, SP, BRA)
Material： Journal of Non-Crystalline Solids  (J Non-Cryst Solid)
Volume： 120  Issue： 1/3  Page： 275-282  Publication year： Apr. 1990 
JST Material Number： D0642A  ISSN： 0022-3093  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： amorphous state ,...

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JST classification (1)： Structure of other amorphous materials  (BK04040Z)

Terms in the title (4)： 蒸着 ,  アモルファスシリコン ,  酸化物 ,  相違