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J-GLOBAL ID：200902043454334887   Reference number：92A0110671

Plasma parameters of EBEP etching System. (2).

大口径電子ビーム励起プラズマ(EBEP)エッチング装置のプラズマ特性 (2)

Author (7)： RYOJI MAKOTO (川崎重工業) ,  HARA TAMIO (理研) ,  HAMAGAKI MANABU (理研) ,  DAKE YOSHINORI (川崎重工業) ,  ONISHI KATSU (川崎重工業) ,  HASEGAWA TAKESHI (川崎重工業) ,  AOYAGI YOSHINOBU (理研)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 52nd  Issue： 2  Page： 544  Publication year： Oct. 1991 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 大口径 ,  プラズマ ,  エッチング装置 ,  プラズマ特性