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J-GLOBAL ID：200902044573144006   Reference number：88A0171973

Pulsed laser etching of high T_c superconducting films.

高T_c超伝導膜のパルス型レーザエッチング

Author (6)： INAM A (Rutgers Univ., NJ, USA) ,  WU X D (Rutgers Univ., NJ, USA) ,  VENKATESAN T (Bell Communications Research, Inc., NJ, USA) ,  OGALE S B (Bell Communications Research, Inc., NJ, USA) ,  CHANG C C (Bell Communications Research, Inc., NJ, USA) ,  DIJKKAMP D (Bell Communications Research, Inc., NJ, USA)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 51  Issue： 14  Page： 1112-1114  Publication year： Oct. 05, 1987 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： yttrium compound ,...

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JST classification (1)： Other particle optics  (BD02080I)

Terms in the title (4)： Tc ,  超伝導膜 ,  パルス ,  レーザエッチング