Art

J-GLOBAL ID：200902044579545266   Reference number：92A0385105

Resonant pressure sensor based on piezoelectric properties of ferroelectric thick films.

強誘電厚膜の圧電特性に基づく共振圧力センサ

Author (3)： MORTEN B (Univ. Modena, Modena, ITA) ,  DE CICCO G (Univ. Modena, Modena, ITA) ,  PRUDENZIATI M (Univ. Modena, Modena, ITA)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 31  Issue： 1/3  Page： 153-158  Publication year： Mar. 1992 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： manometer ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (2)： Piezoelectric devices  (NC03110I) ,  Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Terms in the title (4)： 厚膜 ,  圧電特性 ,  共振 ,  圧力センサ