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J-GLOBAL ID：200902045083543235   Reference number：91A0955528

特集 マイクロマシン 大型プロジェクトに見るマイクロマシン マイクロマシン技術の現状と研究開発の概要

Author (1)： KONAKA MOTOHIDE (工技院)
Material： 日本の科学と技術
Volume： 32  Issue： 263  Page： 24-26  Publication year： Nov. 1991 
JST Material Number： F0272A  ISSN： 0029-0327  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (8)： マイクロマシン ,  大型 ,  プロジェクト ,  マイクロマシン技術 ,  現状 ,  研究 ,  開発 ,  概要