Art

J-GLOBAL ID：200902045973937583   Reference number：89A0030766

EELS analysis of vacuum arc-deposited diamond-like films.

真空アーク蒸着したダイヤモンド様膜のEELS解析

Author (3)： BERGER S D (Cavendish Lab., Cambridge, GBR) ,  MCKENZIE D R (Cavendish Lab., Cambridge, GBR) ,  MARTIN P J (CSIRO, New South Wales, AUS)
Material： Philosophical Magazine Letters  (Philos Mag Letters)
Volume： 57  Issue： 6  Page： 285-290  Publication year： Jun. 1988 
JST Material Number： T0360A  ISSN： 0950-0839  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： arc discharge ,...

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (4)： 真空アーク蒸着 ,  ダイヤモンド ,  EELS ,  解析