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J-GLOBAL ID：200902047605006165   Reference number：89A0001433

An ultra precision straight motion system. (2nd report). Five degrees of freedom control of Motion.

超高精度直線運動機構 II 5自由度の制御

Author (4)： MATSUMOTO HIDEKI (東京工大 大学院) ,  YAMAGUCHI JOJI (東京工大 大学院) ,  AOYAMA HISAYUKI (静岡大 工) ,  SHIMOKOBE AKIRA (東京工大 精密工研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 54  Issue： 10  Page： 1945-1950  Publication year： Oct. 1988 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： rectilinear motion ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Motion mechanism  (QB01080K)

Reference (4)：

• 1) 渡辺一郎, 青山尚之, 下河辺 明 : 能動空気軸受-浮上方向の位置と振動の超精密制御, 精密工学会誌, 54, 2 (1988) 329.
• 2) 青山尚之, 渡辺一郎, 堆 浩太郎, 下河辺 明 : 超精密長尺直線運動機構の開発, 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (1987) 121.
• 3) A. Shimokohbe, H. Aoyama and I. Watanabe : A High Precision Straight-motion System, Prec. Engg., 8, 3, (1986).
• 4) 下河辺 明, 青山尚之, 片桐創一, 梅沢清彦 : 静圧直線案内のベルト駆動 (第 1 報) -直線運動精度, 精密工学会誌, 53, 6 (1987) 915.

Terms in the title (2)： 直線運動機構 ,  5自由度