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J-GLOBAL ID：200902050766539296   Reference number：92A0831424

A dry lift-off process using laser ablation technique.

レーザアブレーションを用いたドライリフトオフ法

Author (5)： SANO NAOKI (ソニー) ,  SAMESHIMA TOSHIYUKI (ソニー) ,  HARA MASAKI (ソニー) ,  GOSAIN D P (ソニー) ,  USUI SETSUO (ソニー)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 53rd  Issue： 2  Page： 507  Publication year： Sep. 1992 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (2)： レーザアブレーション ,  リフトオフ法