Art

J-GLOBAL ID：200902051420507440   Reference number：81A0095883

Titanium nitride deposition in an r.f. discharge.

高周波プラズマ放電による窒化チタンの析出

Author (3)： KONUMA M (Aoyama Gakuin Univ., Tokyo) ,  KANZAKI Y (Aoyama Gakuin Univ., Tokyo) ,  MATSUMOTO O (Aoyama Gakuin Univ., Tokyo)
Material： Journal of the Less-Common Metals  (J Less-Common Met)
Volume： 75  Issue： 1  Page： 1-5  Publication year： Nov. 01, 1980 
JST Material Number： D0083A  ISSN： 0022-5088  CODEN： JCOMA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： titanium compound ,...

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JST classification (2)： Vapor plating  (WC08022K) ,  Salts  (CD01050V)

Terms in the title (4)： 高周波プラズマ ,  放電 ,  窒化チタン ,  析出