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J-GLOBAL ID：200902052041425697   Reference number：92A0220554

Organometallic Chemical Vapour Deposition in the Al-O-N System.

Al-O-N系の有機金属化学蒸着

Author (4)： ASPAR B (IMP, CNRS, Odeillo, FRA) ,  ARMAS B (IMP, CNRS, Odeillo, FRA) ,  COMBESCURE C (IMP, CNRS, Odeillo, FRA) ,  THENEGAL D (IMP, CNRS, Odeillo, FRA)
Material： Journal of the European Ceramic Society  (J Eur Ceram Soc)
Volume： 8  Issue： 4  Page： 251-256  Publication year： 1991 
JST Material Number： E0801B  ISSN： 0955-2219  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： fine ceramics ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence

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JST classification (1)： Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Terms in the title (2)： Al ,  有機金属化学蒸着