Art

J-GLOBAL ID：200902052713776981   Reference number：88A0229206

SOI photodiode array stacked on VDMOS for optical switching.

光スイッチングのためVDMOS上に積層されたSOI光ダイオードアレイ

Author (5)： KIOI K (Sharp Corp., Tenri, JPN) ,  MIYAJIMA T (Sharp Corp., Tenri, JPN) ,  YOSHIOKA M (Sharp Corp., Tenri, JPN) ,  DOI T (Sharp Corp., Tenri, JPN) ,  KOBA M (Sharp Corp., Tenri, JPN)
Material： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (IEEE International Electron Devices Meeting)
Volume： 1987  Page： 460-463  Publication year： 1987 
JST Material Number： C0829B  ISSN： 0163-1918  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： photodiode ,...
Semi thesaurus term： VDMOS

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JST classification (1)： Photodetectors  (NC03083X)

Terms in the title (4)： 光スイッチング ,  SOI ,  光ダイオード ,  アレイ