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J-GLOBAL ID：200902054398787026   Reference number：84A0238490

Радиационно-стимулированное гетерирование структурных дефектов в гетеросистемах Si_xGe_1-x-GaAs.

Si_xGe_1-x-GaAsヘテロ系における構造欠陥の放射線によって誘起されるゲッタリング

Author (8)： BORKOVSKAYA O YU ,  DMITRUK N L ,  KONAKOVA R V ,  LITOVCHENKO V G ,  SOLDATENKO N N ,  TKHORIK YU A ,  FILATOV M YU ,  SHAKHOVTSOV V I
Material： Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov  (Fiz Tekh Poluprovo)
Volume： 17  Issue： 7  Page： 1349-1351  Publication year： Jul. 1983 
JST Material Number： R0267A  ISSN： 0015-3222  CODEN： ETPPA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Russian Federation (RUS)  Language： RUSSIAN (RU)

Thesaurus term： silicide ,...

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JST classification (1)： 半導体-半導体接触【’81~’92】  (BM03072N)

Terms in the title (6)： GaAs ,  テロ ,  構造欠陥 ,  放射線 ,  誘起 ,  ゲッタリング