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J-GLOBAL ID：200902056355937434   Reference number：85A0190345

Fundamental aspects of ion beam surface modification: Defect production and migration processes.

イオンビームによる表面改良の基礎知見 欠陥の生成と移動の過程

Author (3)： REHN L E (Argonne National Lab., IL) ,  AVERBACK R S (Argonne National Lab., IL) ,  OKAMOTO P R (Argonne National Lab., IL)
Material： Materials Science and Engineering  (Mater Sci Eng)
Volume： 69  Issue： 1  Page： 1-11  Publication year： Feb. 1985 
JST Material Number： D0589A  ISSN： 0025-5416  CODEN： MSCEA  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ion implantation ,...
Semi thesaurus term： イオンビームミキシング

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JST classification (3)： Irradiational changes of metals  (BK16122N) ,  Lattice defects in metals  (BK12030F) ,  Diffusion in metals  (BL06022C)

Terms in the title (5)： イオンビーム ,  表面改良 ,  基礎 ,  欠陥 ,  過程