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J-GLOBAL ID：200902058460558670   Reference number：92A0153181

Development of Piezo-electric Element Driven Pump Feeding a Trace of Liquid.

圧電素子応用微量液送ポンプの開発

Author (4)： KOJIMA YOSHIO (日立 機械研) ,  TSUBOUCHI KUNIYOSHI (日立 機械研) ,  OKUZAWA TSUTOMU (日立 機械研) ,  TAKAGI YUSUKE (日立 宇宙技術推進本部)
Material： 日本機械学会全国大会講演論文集  (日本機械学会全国大会講演会講演論文集)
Volume： 69th  Issue： Pt C  Page： 580-582  Publication year： Oct. 1991 
JST Material Number： X0587A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： piezoelectric device ,...

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JST classification (2)： Biometry and biometric analysis in geneyal  (EL03010R) ,  Pumps,various pumping equipment  (QD05030P)

Terms in the title (4)： 圧電素子 ,  応用 ,  液送ポンプ ,  開発