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J-GLOBAL ID：200902060079418077   Reference number：91A0132245

Automatic focusing method using stripe pattern projection technique. (2nd report). Subjects and countermeasures for practical use.

しまパターン投影式自動焦点合わせ法

Author (3)： AKIYAMA NOBUYUKI (日立) ,  MAKIHIRA HIROSHI (日立) ,  NAKATA TOSHIHIKO (日立)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 56  Issue： 12  Page： 2273-2279  Publication year： Dec. 1990 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： error (measure) ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (5)：

• 1) 中田 修 : タムロン顕微鏡用オートフォーカス装置, 写真工業, 44, 3 (1986) 95.
• 2) 押田良忠ほか : 印刷回路パターンの非接触膜厚自動測定装置の開発, 第19回SICE学術講演会論文集, No. 1606 (1980) 167.
• 3) 大島良正, 伏見 智, 原 靖彦 : 半導体ウエハ (アルミパターン) に適用可能な光学的自動焦点合わせ法, 第22回SICE学術講演会論文集, No. 1707 (1983) 223.
• 4) 秋山伸幸, 牧平 坦, 中田俊彦 : しまパターン投影式自動焦点合わせ法 (第1報), 精密工学会誌, 56, 7 (1990) 1304.
• 5) 石橋頼幸, 田畑光雄, 東条 徹 : PSDを用いた光斜入射型位置検出器, 昭和61年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, No. 335 (1986) 741.

Terms in the title (2)： しま ,  自動焦点合わせ