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J-GLOBAL ID：200902067148581893   Reference number：92A0459192

Tribological study of cubic boron nitride film.

Author (5)： MIYAKE S (Nippon Inst. Technology, Saitama, JPN) ,  WATANABE S (Nippon Inst. Technology, Saitama, JPN) ,  MURAKAWA M (Nippon Inst. Technology, Saitama, JPN) ,  KANEKO R (NTT Applied Electronic Lab., Tokyo, JPN) ,  MIYAMOTO T (NTT Applied Electronic Lab., Tokyo, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 212  Issue： 1/2  Page： 262-266  Publication year： May. 15, 1992 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)