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J-GLOBAL ID：200902067297340092   Reference number：81A0393319

放射化分析法によるLSI構成材料中のウラン,トリウムの定量およびα線の測定

Author (5)： KUDO KIYOSHI (電電公社部品材料研究部) ,  SHIGEMATSU TOSHIO (電電公社部品材料研究部) ,  YONEZAWA HIROKI (電電公社部品材料研究部) ,  KOBAYASHI KENJI (電電公社茨城電通研) ,  ANAYAMA HIROSHI (電電公社武蔵野電通研)
Material： 電気通信研究所研究実用化報告  (研究実用化報告)
Volume： 30  Issue： 8  Page： 2093-2105  Publication year： Aug. 1981 
JST Material Number： F0137A  ISSN： 0415-3200  CODEN： DTKKA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： LSI ,...

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JST classification (2)： General  (NC03161C) ,  Memory units  (JC04060F)

Terms in the title (6)： 放射化分析法 ,  LSI ,  ウラン ,  トリウム ,  定量 ,  α線