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J-GLOBAL ID：200902067355444847   Reference number：88A0557211

Electric field-assisted polishing using electrophoresis phenomenon. (2nd report). Polishing of silicon nitride under applied load.

電気泳動現象利用による表面研磨(FFF) II 加工圧力付与による窒化けい素の研磨

Author (4)： KUROBE TOSHIJI (金沢大 工) ,  TAKAYAMA MASAYA (金沢大 工) ,  NAKADA KUNIO (松下電器産業) ,  UEDA SHUJI (松下電器産業)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 54  Issue： 9  Page： 1685-1690  Publication year： Sep. 1988 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： polishing(machining) ,...

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JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G)

Reference (7)：

• 1) 北原文夫, 渡部 昌 : 界面電気現象-基礎・測定・応用, 共立出版 (1972) 11.
• 2) 黒部利次, 今中 治, 坂谷勝明 : 電気泳動現象利用による表面研磨-Field-assisted Fine Finishing (FFF) に関する研究, 精密工学会誌, 52, 3 (1986) 547.
• 3) T. Kurobe and 0. Imanaka : Magnatic Field-assisted Fine Finishing, Prec. Engg., 6, 3 (1984) 119.
• 4) 粉体工学会・日本粉体工業技術協会編 : 粉体物性図説, 日経技術図書 (株) (1985).
• 5) 黒部利次, 西川勝信, 今永順一 : 電気泳動現象利用による微粒子の分級 (第1報) -分級原理と二, 三の実験的検討, 昭和61年度精密工学会春季大会, 学術講演会論文集 (1986) 706.

Terms in the title (7)： 電気泳動 ,  現象 ,  表面研磨 ,  FFF ,  加工圧力 ,  窒化けい素 ,  研磨