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J-GLOBAL ID：200902067605726045   Reference number：81A0243742

偏光レーザーによるパターン付試料上の異物検査の自動化

Author (5)： AKIYAMA NOBUYUKI (日立生産技研) ,  OSHIMA YOSHIMASA (日立生産技研) ,  KOIZUMI MITSUYOSHI (日立生産技研) ,  AKIBA MASAKUNI (日立武蔵工場) ,  NAGATOMO HIROTO (日立武蔵工場)
Material： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
Volume： 17  Issue： 2  Page： 237-242  Publication year： Apr. 1981 
JST Material Number： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： semiconductor integrated circuit ,...

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JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Reference (4)：

• 1) 須田匡, 他: 半導体プロセスにおける欠陥・微粒子のレーザによる検出, 電子材料, 103/109 (1977-9)
• 2) D. R. Oswald: A Laser Scan Technique for Electronic Surface Evaluation, J. of Electronic Materials, 3-1, 225/242 (1974)
• 3) 久保田広, 他: 光学技術ハンドブック, 1110/1117, 朝倉書店 (1968)
• 4) (たとえば) 田中克己: 顕微鏡の使い方, 194/198, 裳華房 (1975)

Terms in the title (5)： 偏光 ,  レーザー ,  試料 ,  異物検査 ,  自動化