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J-GLOBAL ID：200902069650733799   Reference number：92A0371917

Development of Ultra-precision Positioning Stage.

高速・高精度位置決めステージの開発

Author (8)： SAKINO SHIGEO (キャノン) ,  OSANAI EIJI (キャノン) ,  SAKAI TOSHIKAZU (キャノン) ,  YAMAMOTO HIRONORI (キャノン) ,  YAMANE YUKIO (キャノン) ,  ONO KAZUYA (キャノン) ,  AKUTSU KOTARO (キャノン) ,  KAMATA SHIGETO (キャノン)
Material： 日本機械学会通常総会講演会講演論文集  (日本機械学会通常総会講演会資料集)
Volume： 69th  Issue： Pt C  Page： 542-544  Publication year： Mar. 1992 
JST Material Number： X0588A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： positioning device ,...

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JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Terms in the title (2)： ステージ ,  開発