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J-GLOBAL ID：200902070591870360   Reference number：90A0881398

Silicon microvalves and their applications.

シリコンマイクロバルブとその応用

Author (1)： ESASHI MASAYOSHI
Material： 日本ロボット学会誌  (ロボ學)
Volume： 8  Issue： 4  Page： 459-464  Publication year： Aug. 1990 
JST Material Number： Y0482A  ISSN： 0289-1824  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (2)： Piping fittings,valves  (QD05020E) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (8)：

• 1) K. E. Petersen, “Silicon as a Mechanical Material”, Proc. IEEE, Vol.70, No.5, (1982) 420-457.
• 2) C. D. Fung, P. W. Cheung, W. H. Ko & D. G. Fleming, “Micromachining and Micropackaging of Transducers”Elsever Amsterdam (1985)
• 3) M. Esashi, “Normally Close Microvalve and Micropump Fabricated on a Silicon Wafer”, Sensors and Actuators, Vol.20, No.1/2, (1990) , pp.163-169.
• 4) S. Nakagawa, S. Shoji, M. Esashi, “A Micro Chemical Analyzing System Integrated on a Silicon Wafer”, Proc. IEEE MEMS Workshop, (1990-Napa Valley USA) , pp.89-94.
• 5) 江刺, 庄子: “マイクロバルブとセンサの集積化システム”, 電気学会センサ技術研究会, ST-87-1, , (1987)

Terms in the title (1)： 応用