Art

J-GLOBAL ID：200902072682542678   Reference number：90A0178228

Techniques for the growth of superconducting oxide thin films using pure ozone vapor.

純オゾン蒸気を用いた超伝導酸化物薄膜の成長技術

Author (5)： BERKLEY D D (Univ. Minnesota, Minnesota) ,  GOLDMAN A M (Univ. Minnesota, Minnesota) ,  JOHNSON B R (Univ. Minnesota, Minnesota) ,  MORTON J (Univ. Minnesota, Minnesota) ,  WANG T (Univ. Minnesota, Minnesota)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 60  Issue： 12  Page： 3769-3774  Publication year： Dec. 1989 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Ozone ,...

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JST classification (2)： 超伝導状態の性質一般【’81~’92】  (BM04020J) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (5)： オゾン ,  蒸気 ,  伝導 ,  酸化物薄膜 ,  成長