Art

J-GLOBAL ID：200902072831925798   Reference number：87A0055782

Automatic defect inspection system for transparent material.

透明薄膜材料の微小凹凸検査装置

Author (5)： DOI HIDEAKI (日立 生産技研) ,  HARA YASUHIKO (日立 生産技研) ,  KOIZUMI MITSUYOSHI (日立 生産技研) ,  NOZAWA HARUO (日立 茂原工場) ,  KANAI HIROMI (日立 茂原工場)
Material： 自動制御連合講演会前刷
Volume： 29th  Page： 647-648  Publication year： 1986 
JST Material Number： F0989B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： wafer ,...

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JST classification (2)： Magnetic-bubble devices  (NC03140P) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (3)： 薄膜材料 ,  微小凹凸 ,  検査装置