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J-GLOBAL ID：200902073063018731   Reference number：87A0162751

Development of a high resolution sensor for surface roughness.

高感度非接触粗さ計の開発

Author (5)： MITSUI KIMIYUKI (機械技研) ,  SAKAI MAKOTO (東京精密) ,  KIZUKA KEIJI (岡本工作機械製作所) ,  OZAWA NORIMITSU (機械技研) ,  KONO TSUGUO (金沢大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 53  Issue： 2  Page： 328-333  Publication year： Feb. 1987 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： surface roughness ,...

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JST classification (1)： Photometry and photodetectors in general  (BD07031F)

Reference (3)：

• 1) 松林宣秀 : 光ディスク用光学系, 精密機械, 50, 12(1984)1850.
• 2) 小沢則光ほか : 非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1)-超精密測定技術の研究, 精密工学会誌, 52, 12(1986)2080.
• 3) 水野定夫ほか : 平面度測定機, 昭和58年度精機学会秋季大会学術講演会講演論文集(1983)413.

Terms in the title (4)： 高感度 ,  非接触 ,  粗さ ,  開発