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J-GLOBAL ID：200902075088808357   Reference number：84A0282740

反射レーザー光広がりによる金属表面粗さ形状のモニタリング

Author (3)： ADACHI MASAAKI (兵庫県工試) ,  INARI TAKAHIKO (三菱電機応用機器研) ,  KAMEI MITSUHITO (三菱電機応用機器研)
Material： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
Volume： 20  Issue： 6  Page： 536-541  Publication year： Jun. 1984 
JST Material Number： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： optical reflection ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (10)：

• 1) H. Fujii and T. Asakura: Roughness Measurements of Metal Surfaces Using Laser Speckle, J. O. S. A, 67-9, 1171/1176 (1977)
• 2) H. Fujii, T. Asakura and Y. Shindo: Measurement of Surface Roughness Properties by Using Image Speckle Constrast, J. O. S. A, 66-11, 1217/1222 (1976)
• 3) M. Giglio, S. Musazzi and U. Perini: Surface Roughness Measurement by Means of Speckle Wavelength Decorrelation, Opt. Commun, 28-2, 166/170 (1979)
• 4) 内田, 佐藤, 大堀: 光切断法による二次元表面粗さ計測に関する研究, 日本機械学会論文集, 46-407, 771/780 (1980)
• 5) B. J. Pernick: Surface Roughness Measurements with an Optical Fourier Spectrum Analyzer, Appl. Opt., 18-6, 796/801 (1979)

Terms in the title (5)： レーザー光 ,  広がり ,  金属表面 ,  粗さ ,  モニタリング