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J-GLOBAL ID：200902077322142891   Reference number：92A0554687

New Electrode Separation Technology Using Anodic Oxidation and Application to SAW Interdigital Transducers.

陽極酸化を使った新しい電極分離技術とSAW交差指トランスデューサへの応用

Author (3)： YAMANOUCHI K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MEGURO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUMOTO K (Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
Material： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control)
Volume： 39  Issue： 3  Page： 447-452  Publication year： May. 1992 
JST Material Number： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： surface acoustic wave device ,...
Semi thesaurus term： anodic oxidation

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JST classification (1)： Surface acoustic wave devices  (NC03120T)

Terms in the title (6)： 陽極酸化 ,  SAW ,  交差 ,  指 ,  トランスデューサ ,  応用