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J-GLOBAL ID：200902078142449391   Reference number：90A0821794

Development of 6 degrees of freedom quiver stage.(1).Stage structure and basic drive performance.

6自由度微動ステージの開発 (第1報) ステージ構造と基本駆動特性

Author (3)： ITO KAZUHIRO (住友重機械工業) ,  SATO FUMIAKI (住友重機械工業) ,  TOMITA YOSHIYUKI (住友重機械工業)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1989  Issue： Autumn 3  Page： 681-682  Publication year： Oct. 1989 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： VLSI ,...

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JST classification (1)： General  (NC03161C)

Terms in the title (5)： 6自由度 ,  微動 ,  ステージ ,  開発 ,  駆動特性