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J-GLOBAL ID：200902078177589137   Reference number：87A0309969

Software integration in a workstation-based e-beam tester.

ワークステーションによる電子ビーム試験装置のソフトウエア統合

Author (5)： CONCINA S (Sentry-Schlumberger, CA, USA) ,  LIU G (Sentry-Schlumberger, CA, USA) ,  LATTANZI L (Sentry-Schlumberger, CA, USA) ,  REYFMAN S (Sentry-Schlumberger, CA, USA) ,  RICHARDSON N (Sentry-Schlumberger, CA, USA)
Material： Proceedings. International Test Conference  (Proc Int Test Conf)
Volume： 1986  Page： 644-649  Publication year： 1986 
JST Material Number： E0211B  ISSN： 1089-3539  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： workstation ,...

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JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (4)： ワークステーション ,  電子ビーム試験 ,  ソフトウエア ,  統合