Art

J-GLOBAL ID：200902078286008250   Reference number：88A0399564

Preparation of PbTiO₃ thin films by MOCVD under atmospheric pressure.

常圧MOCVD法によるPbTiO₃薄膜の合成

Author (5)： OKADA MASARU (中部大 工) ,  WATANABE HIROAKI (中部大 工) ,  MURAKAMI MASAHIKO (中部大 工) ,  NISHIWAKI AKIRA (中部大 工) ,  TOMITA KATSUHIKO (堀場製作所)
Material： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 96  Issue： 6  Page： 687-693  Publication year： Jun. 1988 
JST Material Number： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： functional ceramics ,...
Semi thesaurus term： ethanols ,...

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JST classification (1)： Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Reference (15)：

• 1) 和佐清孝, セラミックス, 21, 119-25 (1986).
• 2) 田中克彦, セラミックス, 19, 290-95 (1984).
• 3) M. Ishida, H. Matsunami and T. Tanaka, J. Appl. Phys., 48, 951-53 (1977).
• 4) T. Nakagawa, J. Yamaguchi, T. Usui, Y. Matsui, M. Okuyama and Y. Hamakawa, J. J. Appl. Phys., 18, 897-902 (1979).
• 5) A. Okada, J. Appl. Phys., 49, 4495-99 (1978).

Terms in the title (3)： 常圧 ,  MOCVD ,  薄膜