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J-GLOBAL ID：200902082970823300   Reference number：91A0780997

Particle generation and behavior in a silane-argon low-pressure discharge under continuous or pulsed radio-frequency excitation.

連続またはパルスラジオ周波励起によるシラン-アルゴン低圧放電中の微粒子の生成と挙動

Author (5)： BOUCHOULE A (Univ. Orlenans, Orleans, FRA) ,  PLAIN A (Univ. Orlenans, Orleans, FRA) ,  BOUFENDI L (Univ. Orlenans, Orleans, FRA) ,  BLONDEAU J P (Univ. Orlenans, Orleans, FRA) ,  LAURE C (Univ. Orlenans, Orleans, FRA)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 70  Issue： 4  Page： 1991-2000  Publication year： Aug. 15, 1991 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： high frequency discharge ,...

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JST classification (1)： Gas discharges  (BJ03020T)

Terms in the title (9)： パルス ,  ラジオ ,  励起 ,  シラン ,  アルゴン ,  低圧 ,  放電 ,  微粒子 ,  挙動