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J-GLOBAL ID：200902083662514068   Reference number：89A0558511

Glow-discharge synthesis of silicon nitride precursor powders.

窒化けい素前駆体粉末のグロー放電による合成

Author (3)： HO P (Sandia National Lab., New Mexico) ,  BUSS R J (Sandia National Lab., New Mexico) ,  LOEHMAN R E (Sandia National Lab., New Mexico)
Material： Journal of Materials Research  (J Mater Res)
Volume： 4  Issue： 4  Page： 873-881  Publication year： Jul. 1989 
JST Material Number： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon nitride ,...

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JST classification (1)： Reaction due to charged particle bombardment and electric discharge  (CB06020R)

Terms in the title (4)： 窒化けい素 ,  前駆体 ,  粉末 ,  グロー放電