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J-GLOBAL ID：200902083779283148   Reference number：83A0039590

イオンプレーティングのための大電流,長寿命陰極の研究

Author (1)： URAMOTO JIYOSHIN (名古屋大プラズマ研)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 25  Issue： 10  Page： 660-670  Publication year： Oct. 1982 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： ion plating ,...
Semi thesaurus term： negative electrode

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JST classification (2)： Electron and ion sources  (BD02020U) ,  Applications of plasma  (BJ02110K)

Reference (6)：

• 1) D. M. Goebel, J. T. Crow and A. T. Forrester : Rev. Sci. Instrum. 49,469 (1978).
• 2) J. Uramoto : Research Report of Institute of Plasma Physics, Nagoya University, Nagoya, Japan, IPPJ-406 (1979).
• 3) J. Uramoto, K. Ishii and Y. Kubota : IPPJ-448 (1980).
• 4) J. Uramoto : IPPJ-453 (1980).
• 5) J. Uramoto, Y. Kubota and A. Miyahara : IPPJ-440 (1980).

Terms in the title (5)： イオンプレーティング ,  大電流 ,  長寿命 ,  陰極 ,  研究