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J-GLOBAL ID：200902084505656599   Reference number：82A0273986

プラズマと表面の関与する化学反応

Author (1)： MATSUMOTO OSAMU (青山学院大理工)
Material： 表面科学  (JSSSJ)
Volume： 3  Issue： 1  Page： 2-10  Publication year： Mar. 1982 
JST Material Number： F0940B  ISSN： 0388-5321  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： plasma ,...

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JST classification (2)： Reaction due to charged particle bombardment and electric discharge  (CB06020R) ,  Solid-plasma interactions  (BJ02033W)

Reference (24)：

• 1) J.L. Vossen : J. Electrochem, Soc. 126 (1979).
• 2) H.F. Winter, J.W. Coburn and E. Kay : J. Appl. Phys. 48 (1977), 4973.
• 3) M. Konuma, Y. Kanzaki and O. Matsumoto : J. Less-Common Met. 75 (1980), 1.
• 4) M. Hudis : J. Appl. Phys, 44 (1973), 180.
• 5) T. Sugano, F. Koshiga, K. Yamasaki, Q.V. Hu, and Y. Hirayama : J. Fac. Eng, Univ. Tokyo (B), 15 (1980), 553.

Terms in the title (2)： プラズマ ,  化学反応