Art

J-GLOBAL ID：200902086862513987   Reference number：93A0120752

Characterization of PZT thin films crystallographic phases.

PZT薄膜の結晶学的相の特性評価

Author (4)： GOEHNER R P (Sandia National Lab., New Mexico) ,  EATOUGH M O (Sandia National Lab., New Mexico) ,  TUTTLE B A (Sandia National Lab., New Mexico) ,  HEADLEY T J (Sandia National Lab., New Mexico)
Material： Advances in X-Ray Analysis  (Adv X-Ray Anal)
Volume： 35A  Page： 159-167  Publication year： 1992 
JST Material Number： H0119C  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： thin film growth ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Other phsical analysis  (CC03014E)

Terms in the title (4)： PZT ,  薄膜 ,  結晶学 ,  特性評価