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J-GLOBAL ID：200902088241948699   Reference number：90A0269239

In-process measurement and workpiece-referred form accuracy control (2nd Report). The application of K-HIPOSS and a parallel leaf-spring micro-tool servo.

インプロセス計測加工精度補償の研究(第2報) K-HIPOSSと平行板ばね式微小切込み工具台の応用

Author (6)： UCHIDA YUZURU (金沢大 工) ,  KONO TSUGUO (東京都科技大) ,  ONISHI TAKASHI (金沢大 工) ,  OKAZAKI YUICHI (機械技研) ,  OZAWA NORIMITSU (機械技研) ,  TAKEUCHI KIYOMATSU (機械技研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 56  Issue： 1  Page： 134-139  Publication year： Jan. 1990 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： ultraprecision machining ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy ,...

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JST classification (1)： Cutting in general  (QC02010V)

Reference (7)：

• 1) 河野嗣男ほか : インプロセス計測加工精度補償の研究(第1報)加工面基準制御加工法の原理と基礎実験, 精密工学会誌, 54, 8, (1988), 1463.
• 2) T.Kohno et al, : High Precision Optical Surface Sensor, Appl. Opt. 27, 1, (1983), 103.
• 3) 内田出ほか : インプロセス計測加工精度補償の研究(第3報)K-HIPOSSと板ばね式工具台による実験, 昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (1988), 437.
• 4) 岡崎祐一 : 圧電素子を用いた微小変位工具台, 精密工学会誌, 54, 7, (1988), 1375.
• 5) 橋本洋 : 光学部品の超精密加工技術, 精密機械, 52, 12, (1986), 2012.

Terms in the title (9)： インプロセス計測 ,  加工精度 ,  補償 ,  研究 ,  板ばね ,  微小 ,  切込み ,  工具台 ,  応用