Art

J-GLOBAL ID：200902088731098782   Reference number：91A0527005

Annealing behaviour of optical properties and structure of r.f.-sputtered InSe films.

r.f.スパッタInSe膜の光学的,構造的性質の熱処理挙動

Author (3)： SHIGETOMI S (Kurume Univ., Fukuoka, JPN) ,  OHKUBO H (Kurume Univ., Fukuoka, JPN) ,  IKARI T (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 199  Issue： 2  Page： 215-222  Publication year： Apr. 15, 1991 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： sputtered deposition ,...

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JST classification (2)： Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (6)： スパッタ ,  InSe ,  光学 ,  構造的性質 ,  熱処理 ,  挙動